晶圆器件特性测试解决方案
罗德与施瓦茨公司现在提供了一个
罗德与施瓦茨公司现在提供了一种测试解决方案，用于测试晶圆上DUT的全面射频性能表征，该解决方案结合了罗德与施瓦茨强大的R&S ZNA矢量网络分析仪和来自西门子的工程探针系统形状因子。因此，半导体制造商可以在开发阶段、产品鉴定阶段和生产阶段进行可靠和可重复的晶圆上器件表征。
5G射频前端设计人员的目标是确保适当的射频功能，以实现频率覆盖和输出功率，同时优化能源效率。这个过程中的一个重要阶段是调查射频设计，以尽早获得设计反馈，并评估已经在晶圆级的性能和功能。在晶圆环境中对被测件进行表征需要一个测量系统，该系统包括矢量网络分析仪(VNA)、探头站、射频探头、电缆或适配器、专用校准方法以及针对特定被测件或应用的校准基板。
相关资源
为了完成这些重要的测量，罗德与施瓦茨公司提供了高端的R&S ZNA矢量网络分析仪，该分析仪可以表征同轴和波导电平的所有射频鉴定参数，以及适用于67 GHz以上应用范围的频率扩展器。FormFactor通过手动、半自动和全自动探头系统解决晶圆接触问题，包括热控制、高频探头、探头定位器和校准工具。整个测试系统的校准，包括R&S ZNA，在FormFactor WinCal XE校准软件中完全支持。
在测试设置中，由于完全校准的设置，用户可以访问R&S ZNA的所有测试功能。一般的s参数测试允许对滤波器和有源器件进行表征，但失真、增益和互调测试也可以用于对功率放大器进行鉴定。跨设备带宽的相位表征混频器的频率转换测量是联合解决方案支持测量应用的另一个例子。完全校准的设置还允许所有结果直接从VNA中获取，而无需后处理，因为校准数据直接应用于VNA。罗德与施瓦茨的频率扩展器开辟了次太赫兹频率，如Dband，目前是6G研究的重点。扩展器将集成到探针站，以确保最短的布线，实现最佳的动态范围，同时避免由于布线到探针尖端而造成的损失。
从形状因子。因此，半导体制造商可以在开发阶段、产品鉴定阶段和生产阶段进行可靠和可重复的晶圆上器件表征。
5G射频前端设计人员的目标是确保适当的射频功能，以实现频率覆盖和输出功率，同时优化能源效率。这个过程中的一个重要阶段是调查射频设计，以尽早获得设计反馈，并评估已经在晶圆级的性能和功能。在晶圆环境中对被测件进行表征需要一个测量系统，该系统包括矢量网络分析仪(VNA)、探头站、射频探头、电缆或适配器、专用校准方法以及针对特定被测件或应用的校准基板。
相关资源
为了完成这些重要的测量，罗德与施瓦茨公司提供了高端的R&S ZNA矢量网络分析仪，该分析仪可以表征同轴和波导电平的所有射频鉴定参数，以及适用于67 GHz以上应用范围的频率扩展器。FormFactor通过手动、半自动和全自动探头系统解决晶圆接触问题，包括热控制、高频探头、探头定位器和校准工具。整个测试系统的校准，包括R&S ZNA，在FormFactor WinCal XE校准软件中完全支持。
在测试设置中，由于完全校准的设置，用户可以访问R&S ZNA的所有测试功能。一般的s参数测试允许对滤波器和有源器件进行表征，但失真、增益和互调测试也可以用于对功率放大器进行鉴定。跨设备带宽的相位表征混频器的频率转换测量是联合解决方案支持测量应用的另一个例子。完全校准的设置还允许所有结果直接从VNA中获取，而无需后处理，因为校准数据直接应用于VNA。罗德与施瓦茨的频率扩展器开辟了次太赫兹频率，如Dband，目前是6G研究的重点。扩展器将集成到探针站，以确保最短的布线，实现最佳的动态范围，同时避免由于布线到探针尖端而造成的损失。